田中貴金属工業株式会社は、半導体パッケージの検査装置に使用されるプローブピン用ロジウム材料「TK-SR」を発表しました。

この新素材は、高強度・高弾性限・高硬度・高導電率を同時に実現する世界初のロジウム合金であり、プローブカードの長寿命化とコスト低減を可能にします。

出典： PR TIMES（2025年11月12日）
※内容は再構成・要約のうえ独自の分析を加えています。

背景：微細化が進む半導体と“検査の限界”

半導体チップは微細化の一途をたどり、ウェーハ1枚あたり数万本のプローブピンによる通電検査が行われます。

この検査工程では、

• 数十万回〜数百万回の繰り返し接触
• 微小荷重での高精度接触
• 熱変形・摩耗への耐性

が求められ、ピン1本の変形が不良率上昇やライン停止を招くこともあります。

「TK-SR」の技術革新 ― ロジウムの潜在力を引き出す加工技術

ロジウムは本来、高硬度かつ高導電性を兼ね備える優れた素材ですが、従来は導電性を優先するあまり、強度・弾性の向上に制限がありました。

田中貴金属工業は独自の合金設計・熱処理・微細加工技術により、ロジウムの結晶構造を最適化。
結果として以下の性能を同時に成立させました。

• 引張強度の向上
• 高い弾性限による変形防止
• 高硬度による摩耗耐性
• 高導電率による信号損失の低減

さらに線径18µm（髪の毛の約1/5）という極細線での加工も可能。
次世代の狭ピッチ検査にも対応できる精密素材です。

機械修理ドットコム視点

精密検査＝“機械の信頼性”を決めるメンテナンス工程

1️⃣ 材料強度が「保全コスト」を左右する

検査装置のプローブピンは消耗部品ですが、TK-SRの採用により変形・折損が減少。
結果として、部品交換頻度の削減とダウンタイム短縮が実現します。

2️⃣ 検査装置保守の“寿命バランス”最適化

高強度ピンの導入により、プローブカード全体のメンテナンス周期が延長。
装置校正や接点清掃といった工程も最適化でき、運用コスト削減に寄与します。

3️⃣ 微細接点技術＝精密機械産業への波及

この合金技術は、半導体検査だけでなく、医療用センサー・微細スイッチ・電極端子など、精密分野での長寿命接点材料としても応用可能です。

長寿命化と省コスト化の両立

従来、プローブピンは「性能を取るか、寿命を取るか」のトレードオフがありました。
TK-SRはそれを打破し、検査精度・寿命・導電性の三立を実現。
これは単なる材料改良ではなく、検査装置の運用思想を変える革新です。

田中貴金属工業は2030年までに出荷量を2倍に増やす目標を掲げ、世界の半導体産業を支える重要部材として拡販を進めています。

まとめ：検査の“見えない品質”を支える素材技術

半導体製造の信頼性を支えるのは、チップではなく、その品質を測る検査機構の精度です。

TK-SRのような高耐久素材は、「検査工程の安定＝生産効率の安定」に直結し、最終製品の信頼性をも左右する存在です。

機械修理ドットコムとしては、このような“検査を修理する材料”の進化こそ、製造保全の新しいフロンティアだと考えています。